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(주)코마테크놀로지
제품소개
제품명: 인젝터(스타노즐) (반도체장비부품 사파이어소재 인젝터)
Novellus의 반도체장비 Speed HDP-CVD에 들어가는 사파이어소재의 인젝터(Injector short honeycomb STI/PSG)로 기존소재는 주로 알루미나를 사용하고 있으나 이를 사파이어로 대체함으로써 부품의 수명연장과 부품교체를 위한 장비 가동시간의 단축, 파티클의 최소화 등으로 원가절감과 수율향상을 달성하는 부품입니다.
당사는 사파이어, 세라믹, 쿼츠 등 고경도소재의 정밀가공과 표면 폴리싱(경면가공)에 탁월한 기술을 가지고 주로 반도체, LCD장비부품을 생산하고 있습니다.

제품 카테고리
기타 기계 부품
기술 및 인증
사파이어, 세라믹, 쿼츠 등 고경도소재의 정밀가공(평탄도 1um-3um) 과 표면 폴리싱(경면가공)에 탁월한 기술을 가지고 주로 반도체, LCD장비부품을 생산하고 있습니다. 독보적인 Lapping/Polishing 기술, 평면, 성형, 원통, 공구 등 범용연삭기술 및 MCT, NC선반 등의 자동화 가공기술, 센터링가공, C가공, R가공, 엣지가공 및 엣지폴리싱 등 독창적인 제조 가공기술을 바탕으로 반도체LCD 장비의 핵심부품 생산. 특히 본제품은 사파이어 소재로 기존 소재들에 비해 부품의 수명연장, 파티클 최소화 등으로 원가절감, 수율향상 달성
용도
반도체/LCD 장비 부품으로 본 제품은 Novellus의 반도체장비 Speed HDP-CVD에 적용되는 부품
원산지
한국
연락처
업체명 (주)코마테크놀로지   대표자 박성훈
전화번호 +82 70 4432 9434 팩스번호 031-798-1765
주소 ( 12790 ) 경기도 광주시 오포읍 포은대로 309 코마테크놀로지
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